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重生之电子风云-第336部分
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当初向成光所订购他们的0。8…1微米光刻机时，成光所是很惊讶的，国产光刻机居然还有人要采购？而且是目前已不再被西方禁运的0。8…1微米制程，对方简直是瞎了眼了！
但既然有狗大户要买，成光所当然是全力以赴配合，拍着胸脯打包票说保证工期，一定对重光和另一个买家北都微电子中心一视同仁，同时交货。
而当奚龙山提出要采购三套设备时，成光所更是以为重光湖山研究院发了疯，当得知他们一年有三个亿的研发经费之后，成光所吓了一跳，认定湖研院是财大气粗吃饱了撑的。
每台一千二百万的采购价格可谓昂贵，比之进口的尼康光刻机也只便宜了一百万，而在工作稳定性上却不如进口设备成熟可靠，但重光湖研院却一口气订了三台这样的国产设备，这实在是让成光所上下参与设计该款光刻机的科研人员们眉喜笑颜开，他们实在是没想到，这款机器除了有国家任务的不得不采购的北都微电子中心这个客户之外，国内居然还有第二家愿意吃螃蟹的用户，而且是真金白银的掏钱来买。
成光所马佳光所长激动了，当即对奚龙山表示，绝耽误不了重光的研发安排，就算北都微电子中心那边交货延迟，都不会延迟交付重光的订货，嗯……不过能不能先把三台设备的3600万货款给先结个一半？如今成光所也缺钱的很呢……马所担忧的提出。
这点要求对于如今阔了的湖研院来说当然不是难事，奚龙山生平第一次体会当暴发户的感觉，当时就同意先转1800万的采购款给对方，当然奚龙山也趁机提出要求，希望成光所能派出技术骨干参与湖研院这次的0。35微米技改项目研发，同步掌握先进光刻系统的技术，为将来尽快量产打下基础。
马佳光是国内光电测量和控制技术领域的专家，当听说湖研院打算搞0。35微米制程时当场吓了一大跳，心说难道对方就打算靠成光所这三台0。8…1微米光刻机来搞大跃进？对方既然一口气采购了三台，想必是已经有了前瞻的技术储备，只是不知道他们的技术有没有希望成功。
“你们打算用什么样的技术来实现？”
奚龙山想着胡一亭要求尽可能与成光所展开合作，于是把胡一亭主导的三项技术给马所长介绍了一番。
当听说湖研院的技术如此领先，想法如此超前，马佳光也吓了一大跳，对于重光湖研院的新镜头和双胶工艺还有光刻机双工件台智能联动镜头像场精密校准系统充满了好奇，这些技术他以往只在与国外专家交流时隐约有所耳闻，但苦于西方技术封锁，从来看不到任何西方发表的学术论文上对此有过任何关于这些技术的阐述，如今听说重光居然搞了出来，这叫他如何能不兴奋！如何能不吃惊！如何能不好奇！
马所长心痒难奈之下当即表示，愿意和重光湖研院合作，希望双方能达成技术共享，协做进步。
在他看来，即便湖研院因为技术不成熟，达不到既定目标，也起码是掌握了一些先进技术的，否则重光这家国内近两年来声名鹊起的公司又怎肯出手从军方把214所给吃下来呢？还给了一年三个亿的研发经费啊！这笔巨款在国内当下来说，完全足够运营一个国家级科研院所了！即便重光不成功，对成光所自己的技术开发也一定能起到引导和启发。
当然他心里还是存在疑惑，觉得从军方214所改制而来的湖研院不可能有这么高明的技术，但好奇心还是驱使他决定派人过去一探究竟，希望能从湖研院那里得到些技术启发，为成光所今后技术开发提供一定借鉴。
之后马所长果然没有食言，湖研院拿到第一台光刻设备时，仅落后北都微电子中心一周而已，据前来湖山负责安装的成光所工程师说，这台设备其实比北都微电子中心的那台更好些，在复制时进行了一些改进。
两个月后湖研所又拿到了成光所制造的第二台光刻机，而此时成光所也第一次见到了重光的新镜头，这套价值550万由长光所根据湖研所提供的图纸进行加工组装的具有二十片镜片五个套筒完整微气压调节系统和纳米级激光校准系统的高级镜头组立刻就让成光所负责技术合作的科学家和工程师们目瞪口呆，觉得湖研所里一定有不世出的奇人，这种神器说是十年磨一剑设计出来的也不过分啊。
按照湖研院的安排，成光所交付的第一台光刻机被用于0。8微米制程下的流片与双胶涂覆工艺的制程实验，这第二台自然是要用于镜头改装的，将来的第三台是要进行双工件台智能联动镜头像场精密校准项目的。
经过连续几个月的合作之后，成光所现在对重光湖研院的技术佩服的五体投地，对他们的三大技术路线再也没有任何怀疑，马所长前后已经来过湖研院三次，每次都带着激动和兴奋，对湖研院在项目上的每一次进展都啧啧称奇，对于幕后主导这三大重点技改项目的胡一亭更是惊为天人，马所总是以天才胡一亭称呼那位还没见过面的心仪人物，断言其必然成为国内IC业未来领袖。
所以这次胡一亭按照日程回到湖山之后，就在湖研院见到了希望和他面谈的马佳光所长还有成光所目前驻扎湖研所的的二十几位顶尖科学家和工程师组成的团队。
双方经过商议后，胡一亭和马佳光所长共同敲定了重光湖研院和成光所共同研发0。35微米先进光刻系统的实施计划。
“目前重光第一晶圆厂已经进了设备，用的是ASML的I…line光刻系统，他们这台光刻机，每套设备价值400万美元，马所，如果我们重光能搞定实验室技改，希望你们成光所能尽快拿出整套样机，到时候我们重光还按照400万美元的价格向你们采购，今后重光公司要新建的0。35微米制程晶圆厂也将尝试采用国产光刻系统！中国自己的设备如果不在生产中大量使用，我们永远都发现不了问题，也就没法进步，重光愿意为中国设备的进步赴汤蹈火，吃亏吃苦！”
马佳光所长听了胡一亭这话感动异常：“一言为定！我同意胡总你的说法，只有生产实践才能使国产设备不断提高水平！研制出设备不等于量产设备！最终制造出的设备能否长时间稳定持续生产，这才是最大的考验！跑第一张wafer的刻蚀率与第四万张的刻蚀率之间的差值是否一样能达到工艺要求？设备第一年连续运行的故障率能控制在多少时间？设备在运行几年后还是否能进行工艺改造升级？损耗部件的寿命与价格能否达到较高的性价比？以上这些都是有待时间验证的。世界排名前十位的设备制造商，都至少有十几二十年以上的实践生产历史，设备都是经受住时间考验的，大浪淘沙般的磨砺出来的。中国国产设备虽然目前有些进步的成绩，但还是需要些时间来积淀。重光如果愿意在生产中使用国产设备，我觉得国家即便砸锅卖铁也该支持！“
胡一亭连连点头：“马所真知灼见，了不起！”
马所和蔼地笑了起来，又问：”不过，重光能不能让我们成光所的人去你们第一晶圆厂看看那台ASML的I…line光刻机？”
胡一亭知道马所心里在想什么，坦言道：“根本没戏，马所，按照我们与美方的协议，美国AMAT应用材料公司和荷兰ASML公司将在我们第一晶圆厂厂区设立独立的驻华办事处，全程监视我们对于光刻机和离子注入设备的操作，光刻车间和晶圆处理车间里一共安装了16套CCTV闭路电视，7乘24小时的监控这些设备，每周还要对设备进行原封检查，只要我们重光违约，他们就有权断我们的电！同时可以遥控对设备进行锁死，根据合同，重光后续还要面对巨额赔偿，还要面临美国政府制裁！你要知道，我们重光能通过Cyrix搞定这次进口，已经付出了极大的代价，49％的股权是作为技术入股免费赠予美方的，而据我所知，这49％的股权Cyrix只拿了其中的一部分，美方几大设备厂商也都拿到了相应的部分股权，只是由Cyrix代持而已。”
马所眼神迅速黯淡下来：“唉……之前我也听微电子所的人说过，可没想到管得这么严，你们重光搞这个晶圆厂，能赚到钱吗？虽然说闪存芯片目前很走俏，但听说美国日本甚至韩国都在上晶圆厂，我希望你们这次赶紧投产，争取把本先搞回来。”
胡一亭笑道：“马所别灰心，只要我们中国人自己争气，搞出同样性能的设备，美国人的办事处迟早会撤掉。至于收回投资，重光完全有信心！我们的颗粒设计是世界第一流的！制程技术也是世界第一的！”
马所不疑有他，重重点头赞许道：“了不起，我知道你能干，别人要是这么说我一定觉得他在说大话，可胡一亭啊，你是我见过国内年青人里最杰出的科学家，前途不可限量！从你证明出庞加莱猜想，搞出游影霸王指令集开始，我就知道中国IC业出了个百年一遇的奇才，中国集成电路产业有希望了！这希望就在你们这一代人身上！尤其在你身上！你既然这么有信心，那我等着看你们第一件晶圆厂的喜报，你们的第一批工程颗粒流片出来之后，可一定要第一时间给我们成光所见识见识。”
胡一亭腼腆笑道：“一定，不过马所你过奖了，我只是尽力而为，我的理想是让太祖他老人家的话成为现实，他老人家说过，中国人民有志气有能力，一定能在不远的将来赶上和超过世界先进水平，这也是我毕生奋斗的目标。”
马所赞叹：“好样的！这句话在我们所也赫赫有名，哈哈，很大的红色亚克力标语就贴在微机实验室的墙上，你怕不是来过我们所吧？哈哈哈。”
说罢马所兴奋起来，重重拍了拍胡一亭的肩膀：“你一定行的！我看了你们的这三项技改，真是把我给震惊了，你这脑子是怎么长的，怎么什么都懂呢？”
胡一亭被夸的有些不好意思，笑道：“我也不知道，就觉得那思路像是原本就存在脑子里一样，一想起来就好像回忆自己做过的事情，思路就源源不断流了出来。”
马所啧啧称奇，对身旁成光所的几位科学家道：“看到没有！这就是天才！货真价实的！我都是第一次见到这样的人物！小胡将来一个院士是跑不了的！”
第519章 顶级制程科学家（）
在湖山接下来一周多时间，胡一亭全身心投入闪存颗粒设计之中。
因为湖研院研发的三项目前国际领先的新技术技改已经有了初步成果，所以之前对闪存颗粒进行了第一轮工程流片，已经拿出了数量极少的工程样品，但目前湖研院的实验室0。35微米制程还不成熟，尝试实验流片下，良品率低的要死，连续做了五张晶圆后经测试只得到11片合格产品。
但好在只要有了样品就会让讲解变得直观，胡一亭可以就样品对湖研院和从北都央研院赶来参与研发的诸多工程师们进行有针对性的解释，其中就有刚刚硕士毕业加入重光进行博士实习的曹玉暖，和已经在湖研院驻扎了一个星期的赵赫等北都赶来的芯片设计人员，当然还有从成光所过来的专家们，而还未离开湖山的马所也在其中，得知胡一亭今天要对国内第一次0。35微米工程流片进行技术讲解，他特意推迟了回成都的日程。
湖研院里有内部锅炉，暖气片成天都烧的滚烫，会议室热的让人冒汗，胡一亭只穿了件白长袖衬衫，单薄的羊毛西裤站在会议室前，对着电脑将样品在电子显微镜下拍摄的一张张照片用幻灯机投在屏幕上，芯片上以纳米为单位的微结构被放大如斗，
他昨晚在办公室睡了一宿，此刻精神饱满，对着长桌两侧三十多双睿智专注的眼神，侃侃而谈道：“这些照片大家开会前都已经看过，对栅极埋入层的形貌结构心里也都有数了，我来给大家分析一下，看看和大家自己做出的分析是不是一样。”
“首先我认为，我们这次工程流片之所以会出现大批不能读写的次品，良品率极低，主要原因虽然有湖研院目前的0。35微米实验制程不成熟，但再怎么不成熟，良品率也不能这么低，真正搞出次品的原因是因为我们的埋入晶圆的栅极扩散层形态异常。”
会议室里大家都松了口气，尤其是目前正在攻关实验室0。35微米制程的工程师们，都觉得胡一亭这句话实在是对他们的最大安慰。
“大家看这张电镜探伤图，左边是这次的良品，右边是这次的不合格品，左边正常形态下的埋入层扩散结构和右边的区别是很明显的，我知道大家现在一定在想，为什么会出现右边这些次品？
问题出在哪呢？我来
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